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ENEA - divisione Fusione
Laboratorio chimico-Fotolitografia
Contatti:
Dott. Ugo Besi Vetrella - email: ugo.besivetrella@enea.it
tel. 0039 06 9400 5873- fax. 0039 06 9400 5393
Dott. Andrea Augieri - email: andrea.augieri@enea.it
tel. 0039 06 9400 5994 - fax. 0039 06 9400 5393
Cappa
aspirante perl’evacuazione dei vapori
chimici
Nella sezione Superconduttività è presente un laboratorio per il trattamento
chimico dei campioni e per i processi di fotolitografia.
I trattamenti chimici vengono effettuati con l’ausilio di una cappa aspirante
per l’evacuazione dei vapori, e comprendono l’utilizzo di sostanze come acetone,
alcol isopropilico, metanolo, etanolo, cloruro ferrico, resist positivi e negativi,
developers, bromo, acido solforico, e acido nitrico.Mediante un bagno ad ultrasuoni
e un depuratore/deionizzatore d’acqua è possibile effettuare il lavaggio
dei campioni mentre un hot plate permette di effettuare trattamenti termici
in aria.
In questo laboratorio si realizza il processo di "patterning" dei film di materiale superconduttore mediante processi di fotolitografia e "wet etching".
Profilometro
a stilo IQ-Tencor
I processi fotolitografici si effettuano per mezzo
di un "mask aligner" a luce ultravioletta che permette l’esposizione
controllata dei film superconduttivi precedentemente coperti da "resist"mediante
uno "spinner" a velocità variabile. L’ambiente è costantemente
tenuto in sovrapressione d’aria per evitare la formazione e la circolazione
di pulviscolo che potrebbe inficiare la qualità dei processi fotolitografici.
Inoltre l’illuminazione è garantita da lampade con spettro di emissione
centrato sul giallo che non abbiano componenti nella regione dell’ultravioletto.
Mediante un profilometro a stilo è possibile eseguire misure di spessore e
rugosità dei film sottili nonché controllare la qualità del processo di fotolitografia
stimando le dimensioni delle geometrie ottenute mediante il processo di patterning.
Nel laboratorio è anche presente un microscopio ottico con illuminazione diretta o in trasmissione con ottiche per l’ingrandimento fino a 80x.
