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ENEA - divisione Fusione

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Laboratorio Deposizione Film Sottili

Contatti:
Dott. Giuseppe Celentano - email: giuseppe.celentano@enea.it
tel. 0039 06 9400 5425 - fax. 0039 06 9400 5393

Dott. Angelo Vannozzi - email: angelo.vannozzi@enea.it
tel. 0039 06 9400 5827 - fax. 0039 06 9400 5393

Dott.sa Valentina Galluzzi - email:valentina.galluzzi@enea.it
tel. 0039 06 9400 5613 - fax. 0039 06 9400 5393

Sistema di deposizione in continua mediante cannone elettronicoSistema di deposizione in continua mediante ablazione laserLe competenze sulla deposizione di film sottili, in questo laboratorio, vengono applicate per lo sviluppo delle proprietà dei materiali, per la realizzazione di dispositivi elettronici superconduttori e per la produzione di nastri a base di YBCO.

Forno per ricotture in vuoto Più in dettaglio, le tecniche di deposizione film utilizzate sono le seguenti:

Sistema di deposizione in statica mediante cannone elettronico












(per saperne di più:
Ablazione laser »
Evaporazione da cannone elettronico »
Sputtering »
Deposizione in continua »)